掃描探針顯微鏡

型    號：Multimode Application module-ready nanoscope IIId SPM SYSTEM

產    地：美國

設備單價：116.35（萬元）

技術指標：1 縱向分辨率：可持續穩定得到原子級分辨率。用原子力顯微鏡(AFM)模式石墨樣品進行5－10nm范圍的掃描成像，測量圖像中石墨的臺階高度值，以此值來表征儀器的縱向分辨率；要求測量值在：0.30－0.38nm范圍內

2 橫向分辨率：可持續穩定得到原子級分辨率。用原子力顯微鏡(AFM)模式對云母樣品進行5－10nm范圍的掃描成像，然后測量圖像中相鄰云母原子的間距值，以此值來表征儀器的橫向分辨率；要求測量值在0.50－0.55nm范圍內。

3 噪聲水平：<0.3 Å，可持續穩定地達到原子級分辨率。對外界環境具有較高的抗干擾性（有防震系統）。

4 最大掃描范圍：大于或等于 100μm*100 μm。

5 樣品尺寸范圍：大于或等于15 mm *15 mm。

6 光學觀察輔助系統：在操作原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡的同時，可獲得光學圖象。

7 掃描電容顯微鏡配件：通過測量探針與半導體樣品之間的微電容變化，得到2D的載流子濃度分布圖像，測量范圍：1015 - 1020 carriers/cm3，分辨8 溫控臺部分：大氣環境高溫/負溫（-30℃至250°C）成像一體化配件，提供大氣環境下高溫及負溫(-30℃至250°C)成像功能（空氣中及惰性氣體環境），采用探針與樣品同時加熱技術，保證高溫下成像不失真。

8 電化學顯微鏡系統，能夠做電化學STM,電化學AFM以及電化學勢顯微鏡。

主要功能：原子力顯微鏡 (AFM)掃描模式\掃描隧道顯微鏡（STM）掃描模式